4D動(dòng)態(tài)干涉儀原理 ,N.8  
4D動(dòng)態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時(shí)間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨(dú)創(chuàng)的相位相關(guān)的CCD技術(shù)，使得一個(gè)CCD幀頻內(nèi)就可實(shí)現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示： =q4}(  
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光源發(fā)出的激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會(huì)后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進(jìn)入CCD. ^\\3bW9
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    掩模板（定向微偏振片陣列）的單元結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對(duì)應(yīng)相關(guān). 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個(gè)單元后會(huì)發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個(gè)像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對(duì)每一組像元進(jìn)行相移干涉計(jì)算, 就可以獲得整個(gè)樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計(jì)算時(shí)可以重復(fù)利用相鄰像元，從而實(shí)現(xiàn)全分辨的測量。 XE}gl&\  
•   4D 動(dòng)態(tài)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及其應(yīng)用： > H!sD\b  
1.適合于惡劣環(huán)境下的測量 ;H_/o+  
•   快速測量 – 測量速度只受曝光時(shí)間限制，而不受CCD幀頻限制! ZZw`8 E  
•   對(duì)振動(dòng)不敏感 4T@:_G2b  
•   減少了氣流的影響－可以使用風(fēng)扇均化光路氣流 \Pg~j\;F]  
2.適合于挑戰(zhàn)性的測試設(shè)置 "TV'}HH  
•   大尺寸光學(xué)元件與系統(tǒng)   V]=22Cxi'~  
•   長光程測量－不需防振臺(tái)，對(duì)光強(qiáng)要求降低 M tN>5k c  
•   真空與環(huán)境倉內(nèi)的測試 o.+;]i}D  
3.適合于高難度測試 TR"C<&y$j  
•   運(yùn)動(dòng)和共振檢測 1K72}Gj)ZL  
•   ESPI 電子散斑 lSj gN~:z  
•   生產(chǎn)環(huán)境下檢測 Y[