4D動態(tài)干涉儀
原理 3j7FG%\ 4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理,將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉換為空間域相移,并采用其獨創(chuàng)的相位相關的
CCD技術,使得一個CCD幀頻內就可實現全分辨的測量。其原理圖如下圖所示:
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U>S 光源發(fā)出的
激光經過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經過
光學系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板(見下圖)進入CCD.
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@16GF!. /\mtCa.O 掩模板(定向微偏振片陣列)的單元
結構與CCD的像元一一對應相關. 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個單元后會發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對每一組像元進行相移干涉計算, 就可以獲得整個樣品表面的形貌數據.由于像元的位相是周期變化的,則在計算時可以重復利用相鄰像元,從而實現全分辨的測量。
nrac)W • 4D 動態(tài)干涉儀的優(yōu)點及其應用:
1lw%RM 1.適合于惡劣環(huán)境下的測量
zdN[Uc+1Bd • 快速測量 – 測量速度只受曝光時間限制,而不受CCD幀頻限制!
`v*HH}aDO • 對振動不敏感
mjeJoMvN)H • 減少了氣流的影響-可以使用風扇均化光路氣流
YT(N][V 2.適合于挑戰(zhàn)性的測試設置
0|&@)` • 大尺寸光學元件與系統(tǒng)
fi?4!h • 長光程測量-不需防振臺,對光強要求降低
=2\2Sp • 真空與環(huán)境倉內的測試
c^}y9% 4c 3.適合于高難度測試
0Lo8pe`DH • 運動和共振檢測
EU[\D; • ESPI
電子散斑
J0xHpe • 生產環(huán)境下檢測
l=?e0d>O • 超快過程的檢測