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    [其它]4D 干涉儀原理 [復制鏈接]

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    離線nancy-y
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-05-31
    4D動態(tài)干涉儀原理 3j7FG%\  
    4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理,將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉換為空間域相移,并采用其獨創(chuàng)的相位相關的CCD技術,使得一個CCD幀頻內就可實現全分辨的測量。其原理圖如下圖所示: 1@]&iZ]  
    U>S  
    光源發(fā)出的激光經過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經過光學系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板(見下圖)進入CCD. 0eY!Z._^  
    @16GF!.  
    /\mtCa.O  
        掩模板(定向微偏振片陣列)的單元結構與CCD的像元一一對應相關. 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個單元后會發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對每一組像元進行相移干涉計算, 就可以獲得整個樣品表面的形貌數據.由于像元的位相是周期變化的,則在計算時可以重復利用相鄰像元,從而實現全分辨的測量。 nrac )W  
    •   4D 動態(tài)干涉儀的優(yōu)點及其應用: 1lw%RM  
    1.適合于惡劣環(huán)境下的測量 zdN[Uc+1Bd  
    •   快速測量 – 測量速度只受曝光時間限制,而不受CCD幀頻限制! `v*HH}aDO  
    •   對振動不敏感 mjeJoMvN)H  
    •   減少了氣流的影響-可以使用風扇均化光路氣流 YT(N][V  
    2.適合于挑戰(zhàn)性的測試設置 0|&@)`  
    •   大尺寸光學元件與系統(tǒng)   fi?4!h  
    •   長光程測量-不需防振臺,對光強要求降低 =2\2Sp  
    •   真空與環(huán)境倉內的測試 c^}y9% 4c  
    3.適合于高難度測試 0Lo8pe`DH  
    •   運動和共振檢測 EU[\D;  
    •   ESPI 電子散斑 J0xHpe  
    •   生產環(huán)境下檢測 l=?e0d>O  
    •   超快過程的檢測
     
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    離線阿拉丁23
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-09-26
    謝謝樓主分 感謝分享
    離線l355550357
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-10-31
    呀,這個必須看看

    內容來自Android手機客戶端

    離線yudonghai
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-11-06
    謝謝分享
    離線逸世飛云
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-12-19
    看過這個了,確實有點牛逼
    離線chengzheng
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2014-01-02
    謝謝樓主   
    離線quxiang1233
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2014-11-05
    謝謝樓主分享了
    離線hongyuli
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2014-11-13
    謝謝樓主分享
    離線豈止是風
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2015-01-07
    這個必須頂頂~ 學習一下~
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2015-03-05
    太神奇了!