4D動態(tài)干涉儀原理 &-)Y[#\J  
4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨創(chuàng)的相位相關(guān)的CCD技術(shù)，使得一個CCD幀頻內(nèi)就可實現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示： .Qw@H#dtW  
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光源發(fā)出的激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進入CCD. X|B;>q
 
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    掩模板（定向微偏振片陣列）的單元結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對應(yīng)相關(guān). 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個單元后會發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對每一組像元進行相移干涉計算, 就可以獲得整個樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計算時可以重復(fù)利用相鄰像元，從而實現(xiàn)全分辨的測量。 : )*Ge3  
•   4D 動態(tài)干涉儀的優(yōu)點及其應(yīng)用： [k{iN1n  
1.適合于惡劣環(huán)境下的測量 r{jD,x2  
•   快速測量 – 測量速度只受曝光時間限制，而不受CCD幀頻限制! EuA<{%i  
•   對振動不敏感 !OVEA^6  
•   減少了氣流的影響－可以使用風(fēng)扇均化光路氣流 /g7?,/vnZ  
2.適合于挑戰(zhàn)性的測試設(shè)置 o[