1 引言 bcAvM;  
　　隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴(kuò)展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點(diǎn)，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅(qū)動方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅(qū)動和扭臂驅(qū)動等。懸臂和扭臂驅(qū)動的驅(qū)動電壓高 于前兩者，但結(jié)構(gòu)簡單、工藝上容易實(shí)現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調(diào)的方波信號為激勵源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺儀器協(xié)調(diào)工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測量儀器成本高、操作繁瑣、測試周期長、測量精度低等。而在本文介紹的測量平臺中，通過高幅值利用單片機(jī)控制脈沖頻率的方法來選擇器件。與當(dāng)前同類方法相比，具有精度高、可靠性強(qiáng)、成本低、易操作等優(yōu)點(diǎn)。 .cR -V`  
　　2 光開關(guān)工作原理 efD)S92  
　　圖1為2×2微機(jī)械光開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖，可以采用體硅微機(jī)械加工的方法在（100）硅片上制作。微反射鏡和上電極連在一起，在沒有電壓輸入時，上電極的位置不動，微反射鏡處在光通路上，從入射光纖發(fā)出的光被微反射鏡反射，改變方向后進(jìn)入到鏡面同一側(cè)的出射光纖中，這是開關(guān)的反射狀態(tài)。當(dāng)上電極和下電極之間有電壓輸入時，在靜電力的作用下，上電極帶動微反射鏡移開光通路，入射光沿直線傳播進(jìn)入前方的出射光纖，這是開光的直通狀態(tài)。圖2為閾值電壓隨扭梁的厚度變化曲線，圖3為驅(qū)動電壓與懸梁位移之間的關(guān)系曲線。 lhi_6&&[8  
3 方案設(shè)計(jì)與分析 >y}M.Mm  
　　其工作原理是先由單片機(jī)產(chǎn)生頻率占空比可調(diào)的脈沖信號，但因最終信號的電壓幅值在40～70V，遠(yuǎn)大于單片機(jī)的工作電壓（5V），故將單片機(jī)產(chǎn)生的信號先接光耦隔離，再輸出到后級的放大電路，然后根據(jù)放大電路的調(diào)整，輸出峰峰值可調(diào)的信號。由此可見系統(tǒng)設(shè)計(jì)主要涉及三個關(guān)鍵部分：產(chǎn)生頻率和占空比可調(diào)的方波信號、信號放大以及最終信號幅值的測量。