1 引言 gp H@F
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　　隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴(kuò)展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點(diǎn)，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動(dòng)是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅(qū)動(dòng)方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅(qū)動(dòng)和扭臂驅(qū)動(dòng)等。懸臂和扭臂驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓高 于前兩者，但結(jié)構(gòu)簡單、工藝上容易實(shí)現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時(shí)，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調(diào)的方波信號為激勵(lì)源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺儀器協(xié)調(diào)工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測量儀器成本高、操作繁瑣、測試周期長、測量精度低等。而在本文介紹的測量平臺中，通過高幅值利用單片機(jī)控制脈沖頻率的方法來選擇器件。與當(dāng)前同類方法相比，具有精度高、可靠性強(qiáng)、成本低、易操作等優(yōu)點(diǎn)。 MBU4Awj  
　　2 光開關(guān)工作原理 &_j<!3*  
　　圖1為2×2微機(jī)械光開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖，可以采用體硅微機(jī)械加工的方法在（100）硅片上制作。微反射鏡和上電極連在一起，在沒有電壓輸入時(shí)，上電極的位置不動(dòng)，微反射鏡處在光通路上，從入射光纖發(fā)出的光被微反射鏡反射，改變方向后進(jìn)入到鏡面同一側(cè)的出射光纖中，這是開關(guān)的反射狀態(tài)。當(dāng)上電極和下電極之間有電壓輸入時(shí)，在靜電力的作用下，上電極帶動(dòng)微反射鏡移開光通路，入射光沿直線傳播進(jìn)入前方的出射光纖，這是開光的直通狀態(tài)。圖2為閾值電壓隨扭梁的厚度變化曲線，圖3為驅(qū)動(dòng)電壓與懸梁位移之間的關(guān)系曲線。 s$0dLEa9  
3 方案設(shè)計(jì)與分析 nrXKS&6  
　　其工作原理是先由單片機(jī)產(chǎn)生頻率占空比可調(diào)的脈沖信號，但因最終信號的電壓幅值在40～70V，遠(yuǎn)大于單片機(jī)的工作電壓（5V），故將單片機(jī)產(chǎn)生的信號先接光耦隔離，再輸出到后級的放大電路，然后根據(jù)放大電路的調(diào)整，輸出峰峰值可調(diào)的信號。由此可見系統(tǒng)設(shè)計(jì)主要涉及三個(gè)關(guān)鍵部分：產(chǎn)生頻率和占空比可調(diào)的方波信號、信號放大以及最終信號幅值的測量。 w !<-e>  
3.1方波信號源的設(shè)計(jì) PpNG`_O  
　　方波信號的產(chǎn)生電路主要由AT89C2051單片機(jī)、晶振電路、鍵盤參數(shù)輸入和LED狀態(tài)顯示等部分組成。單片機(jī)AT89C2051由軟件控制，產(chǎn)生方波信號。軟件的設(shè)計(jì)是利用AT89C2051內(nèi)計(jì)數(shù)器/定時(shí)器T0和T1互相配合來控制方波的頻率和占空比的。AT89C2051使用12M晶振，所以單片機(jī)執(zhí)行一條指令的時(shí)間為1μs，這樣根據(jù)鍵盤輸入的頻率值f和占空比d， 得到周期時(shí)間常數(shù)Tt（T t=1/f）和正脈沖的時(shí)間長度T d(Td=Tt×d%)，分別送給計(jì)數(shù)器/定時(shí)器T0、T1。T0、T1同時(shí)開始計(jì)數(shù)，同時(shí)使輸出為高電平，因?yàn)門d≤T t， 故T1首先計(jì)滿溢出，執(zhí)行T1的中斷服務(wù)子程序，拉低輸出電平使輸出低電平，同時(shí)停止T1計(jì)數(shù)。在等待一段時(shí)間，待到T0計(jì)滿， 再調(diào)用執(zhí)行T0的中斷服務(wù)子程序， T0、T1重新裝載定時(shí)常數(shù)并開始計(jì)時(shí)，同時(shí)把輸出電平拉回高電平。由此完成一個(gè)周期的輸出。頻率和占空比的改變只需改變T0、T1的定時(shí)常數(shù)。輸出的波形如圖4。 /'_Yct=  
3.2 信號放大部分 }*aj&  
　　單片機(jī)輸出的方波信號高電平時(shí)只有5V左右，而輸出要達(dá)到40～70V，普通的三極管放大電路不能承受這么大的電壓。因此在設(shè)計(jì)中采用MOS管，而且MOS管有很好的開關(guān)性能，會(huì)使輸出波形很好。電路如圖5。 jYBiC DD  
由LM317搭建的穩(wěn)壓電源（見圖6）提供40～ 70V的直流電壓Vcout。這個(gè)直流電壓輸出值可由圖中的滑動(dòng)變阻器WR調(diào)整。Vcout通過上拉電阻加在 MOS管的漏級上，這樣當(dāng)MOS管工作在開關(guān)狀態(tài)時(shí)，從漏級的輸出的電壓就在0V和 Vcout之間變化，就由此產(chǎn)生幅值為V cout的方波信號�？梢�，只要單片機(jī)輸出的方波信號可控制MOS管的開關(guān)狀態(tài)，即可使輸出高幅值的方波信號與單片機(jī)由軟件設(shè)計(jì)輸出的方波同頻率同占空比。但是單片機(jī)輸出的信號大約在5V左右，若與后面加有高達(dá)40～70V電壓的MOS管直接相連，這樣當(dāng)MOS管后級短路輸出的高壓很容易被引入單片機(jī)內(nèi)，將單片機(jī)燒壞。因此必須采用措施避免這種危險(xiǎn)的發(fā)生。在此設(shè)計(jì)中采用光耦使得后面輸出的高電壓與單片機(jī)工作時(shí)的5V低壓安全隔離開。 HW'I