MEMS技術(shù)被認(rèn)為是一項(xiàng)革命性技術(shù)，給光通信領(lǐng)域的應(yīng)用帶來了一系列前所未有的MEMS研究熱潮．這些研究被稱為MOEMS〔微光學(xué)電子機(jī)械系統(tǒng)〕。人們對(duì)MEMS光開關(guān)研究始于20世紀(jì)90年代中期．雖然起步較晚，但發(fā)展較快，而且研究單位和研究者眾多．成為一種最流行的光開關(guān)制作技術(shù)．貝爾實(shí)驗(yàn)室的“跌撓板”式光開關(guān)，被稱為世界上第一個(gè)有實(shí)用價(jià)值的MEMS光開關(guān)；美國(guó)的OMM公司的“Cros-GuaN”光開關(guān)號(hào)稱世界第一個(gè)MEMS光開關(guān)，該公司的小陣列(4×4和8×8)光開關(guān)產(chǎn)品已進(jìn)入實(shí)用階段，大于32×32陣列的光開關(guān)也在開發(fā)之中；另外。美國(guó)的Onix公司也制作了基于微鏡技術(shù)的光開關(guān)，其中微鏡技術(shù)是該公司的專利技術(shù)．在MEMS光開關(guān)的制作中，這些國(guó)外的研究單位和公司大多采用了MEMS平面工藝。 bX