CCD熒光增強(qiáng)技術(shù)： tK%ie
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　　傳統(tǒng)的電荷耦合器件(CCD),在400nm以下CCD的量子效率低,而采用新技術(shù)基于紫外增強(qiáng)技術(shù)可以提高CCD對(duì)紫外波段的響應(yīng),但是存在光譜信號(hào)弱的缺點(diǎn),并且系統(tǒng)分辨率也因此降低。利用CCD紫外增強(qiáng)技術(shù),通過真空鍍膜的方法將直接熏蒸在CCD感光元件表面,能提高CCD的紫外200nm響應(yīng)度,從而實(shí)現(xiàn)190nm，200nm,253.6nm波長(zhǎng)的相對(duì)強(qiáng)度提高10-30倍或更高。對(duì)于紫外波段的信號(hào)也得到明顯增強(qiáng),使工作頻率從200nm至400nm可實(shí)現(xiàn)。該方法經(jīng)與國(guó)外廠家對(duì)比， 技術(shù)指標(biāo)完全達(dá)到，使國(guó)內(nèi)該制作，紫外CCD成本不高,可以實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),適合工業(yè)應(yīng)用（見下圖的比對(duì)譜線） !DZ=`a?y  
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