摘 要:衍射效率對于二元光學(xué)元件來說是一個非常重要的概念,也是一個重要的器件性能指標(biāo) 從理想的鋸齒形相位輪廓入手,利用標(biāo)量衍射理論,分析并導(dǎo)出鋸齒形一維位相光柵的衍射效率的計(jì)算公式 進(jìn)而討論二元光學(xué)技術(shù)中,以臺階狀的輪廓逼近鋸齒形相位輪廓的機(jī)制,構(gòu)造臺階狀光柵的相位輪廓函數(shù),從而導(dǎo)出其透過函數(shù)和角譜,得出二元光學(xué)元件衍射效率的理論公式,并對不同臺階數(shù)的二元光學(xué)元件的衍射效率進(jìn)行了計(jì)算。