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    [討論]冷卻水對晶控的影響 [復(fù)制鏈接]

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    離線liyungang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2014-02-10
    各位,冷卻水對晶控有多大影響,討論下。
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-02-13
    對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 "$'~=' [  
    正常流量情況下, yy74>K  
    冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 }:8>>lQ  
    冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 @~XlI1g$i  
    &}$D[ 4N  
    上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時(shí)監(jiān)測晶振片的損耗,膜層應(yīng)力對此值影響較大。 9C 05  
    另一方面,XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能,正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計(jì)算偏差。 wE \c?*k  
    離線sgh920
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-02-18
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 [(F<|f:n  
    正常流量情況下, dG?a"/MA  
    冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 I*S`I|{J  
    冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。
    ....... (2014-02-13 18:59)  ~o'#AP#N~  
    ]</4#?_  
    請問多少度以下是溫度過低
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2014-02-19
    回 sgh920 的帖子
    sgh920:請問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58)  h [IYA1/y  
    #jLaIXms  
    沒有絕對的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 {y:#'n  
    例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 6Z7pztk  
    鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜,水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn),將水溫提高到30度以上,晶振片的可使用壽命延長一倍。 lke~>0;  
    但正如前面所說,此時(shí)可能會帶來較大的頻率溫度效應(yīng),導(dǎo)致厚度準(zhǔn)確度有所下降。 q#(/*AoU  
    hiMyFvA4  
    XDM-3K晶控儀本身在晶振片的可使用壽命上來說,相同條件下,比常見的3x0系列要長一倍以上。操作上簡單得多就不用提了,呵呵。 %+xwk=%*  
    XDM-3K對頻率溫度效應(yīng)產(chǎn)生的厚度誤差可進(jìn)行補(bǔ)償,這是申請了國家發(fā)明專利的。當(dāng)然此補(bǔ)償功能額外付費(fèi),對擔(dān)負(fù)國家項(xiàng)目的高校和研究所另論,呵呵。 ?YO =J  
    morningtech.cn,有對該晶控儀稍詳細(xì)介紹。 `N,Vs n"  
    離線liyungang
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2014-02-19
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:沒有絕對的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 H|;*_  
    例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 !/j,hO4Z4  
    鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜,水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn),將水溫提高到30度以上,晶振片的可使用壽命延長一倍。 <)O >MI' 4  
    但正如前面所說,此時(shí)可能會帶來較大的頻率溫度效應(yīng),導(dǎo) .. (2014-02-19 09:47)  `/O`OrZ1K  
    DH:GI1Yu>I  
    我們的設(shè)備就是懷疑水溫有影響,廠家也說有這種可能。 Xnv@H:$mxk  
    可有個(gè)奇怪的現(xiàn)象,我先鍍低折射率材料再鍍高折射率的材料,晶控顯示的和穩(wěn)定;但如果我先鍍高折射率在鍍低折射率交叉膜層的時(shí)候,顯示的就不穩(wěn)定,這該怎么解釋、?
    離線morningtech
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2014-02-19
    回 liyungang 的帖子
    liyungang:我們的設(shè)備就是懷疑水溫有影響,廠家也說有這種可能。 ddsUz1%l  
    可有個(gè)奇怪的現(xiàn)象,我先鍍低折射率材料再鍍高折射率的材料,晶控顯示的和穩(wěn)定;但如果我先鍍高折射率在鍍低折射率交叉膜層的時(shí)候,顯示的就不穩(wěn)定,這該怎么解釋、? (2014-02-19 11:23)  b'i'GJBQ+$  
    aG%kmS&fv  
    鍍金之前通常要打底,解決的是牢固度的問題。 EYL]TeS  
    你問題中可能的原因是二者附著牢固度不同,你的低折射率相當(dāng)于打底了。 b1u}fp