各位，冷卻水對晶控有多大影響，討論下。

對于AT切割晶振片，冷卻水溫度一般在20幾度。 `+o2DA)#(  
正常流量情況下， n\xX},  
冷卻水溫度過低， 則晶振片上膜層應(yīng)力大，不利于鍍厚膜。 AyNI$Q6Z  
冷卻水溫度過高，雖可鍍膜厚增加，但晶振片溫度高，導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域，厚度精度將下降。 Ove<mFI\  
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上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時(shí)監(jiān)測晶振片的損耗，膜層應(yīng)力對此值影響較大。 #:[t^}  
另一方面，XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能，正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計(jì)算偏差。 swK-/$#  

morningtech:對于AT切割晶振片，冷卻水溫度一般在20幾度。 L)@?e?9  
正常流量情況下， ?}kG`q  
冷卻水溫度過低， 則晶振片上膜層應(yīng)力大，不利于鍍厚膜。 {bJ`~b9e  
冷卻水溫度過高，雖可鍍膜厚增加，但晶振片溫度高，導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域，厚度精度將下降。
....... (2014-02-13 18:59)  j$?{\iXZ  

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請問多少度以下是溫度過低

sgh920:請問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58)  K 1 a\b"  

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沒有絕對的過低溫度，大概20度以下吧，還跟工藝有關(guān)。 y\Ic@-aWI  
例如，鍍金屬，本身應(yīng)力不成問題，低水溫的影響就小些。 }<@b=_>S  
鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜，水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn)，將水溫提高到30度以上，晶振片的可使用壽命延長一倍。 [d(U38BI  
但正如前面所說，此時(shí)可能會帶來較大的頻率溫度效應(yīng)，導(dǎo)致厚度準(zhǔn)確度有所下降。 8Kg n"M3  
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XDM-3K晶控儀本身在晶振片的可使用壽命上來說，相同條件下，比常見的3x0系列要長一倍以上。操作上簡單得多就不用提了，呵呵。 ]xRM&=)<  
XDM-3K對頻率溫度效應(yīng)產(chǎn)生的厚度誤差可進(jìn)行補(bǔ)償，這是申請了國家發(fā)明專利的。當(dāng)然此補(bǔ)償功能額外付費(fèi)，對擔(dān)負(fù)國家項(xiàng)目的高校和研究所另論，呵呵。 pA9+Cr!0Q  
morningtech.cn，有對該晶控儀稍詳細(xì)介紹。 gy#/D& N[  

morningtech:沒有絕對的過低溫度，大概20度以下吧，還跟工藝有關(guān)。 Uwf+  
例如，鍍金屬，本身應(yīng)力不成問題，低水溫的影響就小些。 39:bzUIF