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    [討論]冷卻水對晶控的影響 [復(fù)制鏈接]

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    離線liyungang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2014-02-10
    各位,冷卻水對晶控有多大影響,討論下。
     
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    離線morningtech
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-02-13
    對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 ,..b)H5n  
    正常流量情況下, G pd:k  
    冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 ovohl<o\  
    冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 |j+~Td3})&  
    zk]~cG5dT/  
    上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時監(jiān)測晶振片的損耗,膜層應(yīng)力對此值影響較大。 e'6?iLpy  
    另一方面,XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能,正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計算偏差。 :Ls36E8f=  
    離線sgh920
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-02-18
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 Q)>'fZ)  
    正常流量情況下, B pT&vbY  
    冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 _HsvF[\[  
    冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。
    ....... (2014-02-13 18:59)  ks D1NB;9  
    BE~[%6T7  
    請問多少度以下是溫度過低
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2014-02-19
    回 sgh920 的帖子
    sgh920:請問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58)  Xkom@F~]  
    X>7]g670@  
    沒有絕對的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 .N&}<T[  
    例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 @l Gn