對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 ,..b)H5n
正常流量情況下, G pd:k
冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 ovohl<o\
冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 |j+~Td3})&
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上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時監(jiān)測晶振片的損耗,膜層應(yīng)力對此值影響較大。 e'6?iLpy
另一方面,XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能,正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計算偏差。 :Ls36E8f=