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美國NANOVEA公司納米壓痕儀

發(fā)布：universalpei 2014-05-20 15:01 閱讀：1084
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1，儀器簡介： /1A3 Sw  
美國NANOVEA公司的納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性�？蛇m用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機材料等。 3.[ fTrzJ  
2，技術(shù)參數(shù)： "N'|N.,  
載荷范圍：0-400mN O"%b@$p\L  
載荷分辨率：30nN .;),e#  
最大壓入深度：250um |]s/NNU  
位移分辨率： 0.003nm U tb"6_   
3，主要特點：