面形精度：光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度 *pD|N
面形偏差：是光學(xué)零件的被檢測光學(xué)表面與參考表面的偏差. %A3m%&(m&%
參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測量裝置。
SmDNN^GR
光學(xué)零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。 0#=xUk#LP`
國家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項,標(biāo)注為N ,△1N, △2N 7@g0>1Fz
}:0ru_F)(4
光學(xué)樣板檢驗原理： ~uq010lMno
當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對應(yīng)的空氣隙厚度變化為N* λ/2。 }=\?]9`
| @ ut/
一般是用樣板或激光干涉儀，通過觀察到的干涉條紋進(jìn)行檢測，而光圈的度量包括以下三項面形誤差： >l%8d'=Jl
N———半徑偏差：被檢光學(xué)表面的曲率半徑相對于參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差。這種偏差產(chǎn)生一定數(shù)量的光圈。 Y+),c14#
△1N——象散偏差：被檢光學(xué)表面在相互垂直方向上的曲率半徑相對參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差不相等。這種偏差體現(xiàn)在相互垂直方向上的干涉條紋數(shù)量不等。以兩個垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對值來度量 $aU.M 3
△2N——局部偏差：被檢光學(xué)表面的局部區(qū)域相對于參考光學(xué)表面的偏差。這種偏差在任一方向上產(chǎn)生局部不規(guī)則的干涉條紋。以局部不規(guī)則干涉條紋對理想光滑干涉條紋的偏離量與相鄰條紋間距的比值來度量。 |.m)UFV
如果允許的最大象散偏差△1N和局部偏差△2N相同時，可用△N同時表示二者的偏差。
