XUV光譜儀是新型的像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計，可以滿足不同的實驗條件和環(huán)境。 XJl 3\*  
單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測量范圍 iDgc$'%?  
技術(shù)參數(shù) "9Q_lVI|Q  
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