XUV光譜儀是新型的像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設計，可以滿足不同的實驗條件和環(huán)境。 Mk!Fy]3  
單光柵（標準配置）可覆蓋5-80nm測量范圍 ~/OY1~c  
技術參數(shù) L3&Ys3-h  
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>KKWhJ   波長范圍

]8$8QQc<<5   5-20

5Rqdo\vE   10-60