求推薦一本比較好的膜系設(shè)計(jì)的書(shū)，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計(jì)。

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過(guò)第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹(shù)百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可稱經(jīng)典。 9#C hn~ \  
這幾年有新作出來(lái)，沒(méi)有細(xì)讀。 .@7J8FS*  
注意： 浙大出版社   劉旭、王、易， 翻譯<光學(xué)干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學(xué)薄膜原理的，而是文集。 `VJJ"v<L  
因光學(xué)薄膜的基本理論已完善，所以設(shè)計(jì)方面的書(shū)經(jīng)典就夠用了。 60*;a*cy  
2. 光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)軟件也已經(jīng)有很多，網(wǎng)上能找到 一些。 &tKr ?l  

morningtech:1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過(guò)第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹(shù)百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可 .. (2014-06-27 08:54)  %TO=]>q  

m5m'ByX(*  
xiexie

光學(xué)薄膜技術(shù)

教材都大同小異，就浙大的唐晉發(fā)編的《光學(xué)薄膜技術(shù)》就可以了

誰(shuí)能給我一份啊

正在看macleod

最關(guān)鍵的是算準(zhǔn)膜材的折射率，這樣設(shè)計(jì)起來(lái)就事半功倍了

雨雪霏霏:xiexie (2014-06-28 17:15)  DzLm~ aF  

'bP-pgc  
我也組要