求推薦一本比較好的膜系設計的書，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設計。

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學與技術>，顧的<光學薄膜技術?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可稱經(jīng)典。 d']CBoK  
這幾年有新作出來，沒有細讀。 v5 |XyN"  
注意： 浙大出版社   劉旭、王、易， 翻譯<光學干涉薄膜>不是系統(tǒng)介紹光學薄膜原理的，而是文集。 ,8=`Y9#  
因光學薄膜的基本理論已完善，所以設計方面的書經(jīng)典就夠用了。
]!@z3Hv3  
2. 光學薄膜的設計軟件也已經(jīng)有很多，網(wǎng)上能找到 一些。 /y8=r"'G  

morningtech:1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過第2版原版的pdf.    第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇啤㈩櫟� <薄膜光學與技術>，顧的<光學薄膜技術?>。偶早期看到的是后3者。 這些都可 .. (2014-06-27 08:54)  QL].)Vgf  

[:hTwBRF  
xiexie

光學薄膜技術

教材都大同小異，就浙大的唐晉發(fā)編的《光學薄膜技術》就可以了

誰能給我一份啊

正在看macleod

最關鍵的是算準膜材的折射率，這樣設計起來就事半功倍了

雨雪霏霏:xiexie (2014-06-28 17:15)  >Q2kXwN  

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我也組要