ZEMAX光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)戰(zhàn)	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

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離線雨雪霏霏

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2014-06-26

求推薦一本比較好的膜系設(shè)計(jì)的書，本人主攻深紫外光刻物鏡中的膜系設(shè)計(jì)。

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離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2014-06-27

1. 可以看看macleod的，<Thin-Film Optical Filters>，網(wǎng)上曾有過(guò)第2版原版的pdf. 第1版的，有中文版，周九林、尹樹百譯，網(wǎng)上有 pdf 的�；蚩煽纯凑愦筇�、顧的 <薄膜光學(xué)與技術(shù)>，顧的<光學(xué)薄膜技術(shù)?>。偶早期看到的是后3者。這些都可稱經(jīng)典。
這幾年有新作出來(lái)，沒有細(xì)讀。

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