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[求助]鏡頭畸變與偏心 [復(fù)制鏈接]

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離線rzyp

助理工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2014-06-30

最近在調(diào)試光刻鏡頭中碰到一個問題，就是光刻物鏡對DMD（數(shù)字為反射鏡）陣列面成像，在調(diào)試過程中發(fā)現(xiàn)鏡頭的畸變已經(jīng)調(diào)的比較好，按道理講DMD像面是沒有形變的，但是實際發(fā)現(xiàn)即使畸變調(diào)整得很好，還是會出現(xiàn)整個DMD像面的某一個角凸出或者凹下，請問這種情況是由于鏡頭的偏心造成的嗎？還是有其他原因！請教各路高手指點！