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    [求助]鏡頭畸變與偏心 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2014-06-30
    最近在調(diào)試光刻鏡頭中碰到一個(gè)問(wèn)題，就是光刻物鏡對(duì)DMD（數(shù)字為反射鏡）陣列面成像，在調(diào)試過(guò)程中發(fā)現(xiàn)鏡頭的畸變已經(jīng)調(diào)的比較好，按道理講DMD像面是沒(méi)有形變的，但是實(shí)際發(fā)現(xiàn)即使畸變調(diào)整得很好，還是會(huì)出現(xiàn)整個(gè)DMD像面的某一個(gè)角凸出或者凹下，請(qǐng)問(wèn)這種情況是由于鏡頭的偏心造成的嗎？還是有其他原因！請(qǐng)教各路高手指點(diǎn)！
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2014-07-01
    DMD是不是和 的光軸不垂直？
    離線948283700
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2014-07-01
    打醬油
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2014-07-09
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    yu-xuegang:DMD是不是和 的光軸不垂直？ (2014-07-01 12:35)  9QO!vx  
    DRS;lJ2  
    一般來(lái)說(shuō)是不垂 直的，因?yàn)樵谡{(diào)試過(guò)程中基本上沒(méi)有辦法判斷，但是即使不垂直偏差也不會(huì)太大，因?yàn)镈MD是安裝在機(jī)械加工件上（平面度很好）