射線與極紫外XUV光譜儀 @uyQH c,V  
像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 `uPO+2  
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技術(shù)參數(shù) tZ62T{, a  

波長范圍 E8kD#tL	5-20 9{fP.ifdv7	10-60 m33&obSP	25-80 iSf%N>y'K
光源距離（m） -S]ercar	@Un/,-ck	0.4-0.6 X~VI}