X射線與極紫外XUV光譜儀 -Z$u[L [c  
像差校正平場(chǎng)入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 3dj|jw5  
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技術(shù)參數(shù) tLa%8@;'$  

波長(zhǎng)范圍 ~Ss,he]Er	5-20 I*3}e rT	10-60 vBl:&99[/	25-80 2*V[kmD/3
光源距離（m） Lm2)3;ei	5HV+7zU5	0.4-0.6 ,Q7;(&x~	0.5-1.5 @|DQZt
平場(chǎng)尺寸（mm） e@ZM&iR	25.4 mA+:)?e5~	50 ud$-A	50 3>@VPMi
色散(nm/mm) yW=+6@A4	0.5-0.7 WXY'%G	0.7-1.1 WJnGF3G>	0.9-1.3 X$ZVY2
光譜分辨率（nm） ngl +`|u	0.06 @i;