中科院理化技術(shù)研究所承擔(dān)的院儀器研制項目“納米光子學(xué)超細(xì)微加工系統(tǒng)”近日通過中科院綜合計劃局組織的專家驗收。現(xiàn)場加工測試結(jié)果表明，所研制的納米光子學(xué)超細(xì)微加工系統(tǒng)最小加工分辨率小于80納米，加工定位精度達(dá)到10納米，最大加工范圍達(dá)到560微米，具備了良好的三維加工能力。專家組認(rèn)為，該項目按照項目合同的要求，全面完成了合同任務(wù)書規(guī)定的各項任務(wù)，技術(shù)指標(biāo)先進(jìn)。這種可同時具有納米尺度的加工分辨率和較大尺度范圍的激光加工系統(tǒng)尚未見報道，具有創(chuàng)新性。在加工速度、范圍及精度方面處于國際先進(jìn)水平。 a0Fq$  
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