XUV光譜儀是新型的像差校正平場(chǎng)入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 =E4nNL
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    單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測(cè)量范圍 *J1pxZ^  
技術(shù)參數(shù)

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