XUV光譜儀是新型的像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計(jì)，可以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境。 ERfd7V<c>  
    單光柵（標(biāo)準(zhǔn)配置）可覆蓋5-80nm測量范圍 ?jNF6z*M6  
技術(shù)參數(shù)

9feD!0A   波長范圍	zdLVxL>87   5-20	8^<c,!DM   10-60	B@cJ \   25-80
IwTr'}XIw   光源距離（m）	m\*&2Na	^i{,z*vi   0.4-0.6	'?{0z!!   0.5-1.5
;f".'9 l^   平場尺寸（mm）	yfSiByU   25.4	x1 ;rb8   50	%PQldPL8   50
JdaFY+f:   色散(nm/mm)	(MgL"8TS   0.5-0.7	tk`: CT *   0.7-1.1	F-$Z,Q]S   0.9-1.3
xZ^ywa_   光譜分辨率（nm）	?vZWUWa   0.06	7XUhJN3n   0.09	4r_!>['`"   0.11
	\3%W_vU_   0.02（CCD探測器）
?-pxte8   升級(jí)波長范圍	9"WRI