《精密
光學(xué)元件先進測量與評價》結(jié)合光學(xué)測量技術(shù)的最新發(fā)展,針對目前光學(xué)領(lǐng)域中先進光學(xué)測量技術(shù)進行了詳細的探討,主要涉及技術(shù)起源與發(fā)展、
原理、優(yōu)缺點、具體的測量設(shè)備,以及相關(guān)的測量方法和精度。
S$40nM 《精密光學(xué)元件先進測量與評價》分為6 章,第1 章歸納了光學(xué)元件質(zhì)量表述和評價方式,闡述了光學(xué)干涉測量技術(shù)的基本知識與原理;第2~5 章分別介紹了子孔徑拼接輪廓測量、接觸式輪廓測量、
結(jié)構(gòu)光輪廓測量和亞表面損傷檢測;第6 章介紹了其他相關(guān)的光學(xué)測量方法。
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