《精密
光學(xué)元件先進(jìn)測量與評價》結(jié)合光學(xué)測量技術(shù)的最新發(fā)展,針對目前光學(xué)領(lǐng)域中先進(jìn)光學(xué)測量技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的探討,主要涉及技術(shù)起源與發(fā)展、
原理、優(yōu)缺點(diǎn)、具體的測量設(shè)備,以及相關(guān)的測量方法和精度。
^#Ruw?D 《精密光學(xué)元件先進(jìn)測量與評價》分為6 章,第1 章歸納了光學(xué)元件質(zhì)量表述和評價方式,闡述了光學(xué)干涉測量技術(shù)的基本知識與原理;第2~5 章分別介紹了子孔徑拼接輪廓測量、接觸式輪廓測量、
結(jié)構(gòu)光輪廓測量和亞表面損傷檢測;第6 章介紹了其他相關(guān)的光學(xué)測量方法。
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h>A~.. Q`Z=}^ aJmSagr69C 0j--X?- 目錄
Tw{}Ht_Qq 前言
X,Q'Xe/ 第1章緒論
>&mNC\PA 1.1概述
2A5R3x=\ 1.2光學(xué)元件質(zhì)量評價
YaWZOuxm 1.2.1表面質(zhì)量評價
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