球面平凸透鏡鍍增透膜，透鏡直徑36mm,  曲率半徑173mm,  R<0.5 @1550+/- 40nm，  膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤溫度250，成都南光機。 ez^b{s`  
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相同的鍍膜參數(shù)， 鍍10批次有1-2批次出現(xiàn)大比例膜層色斑，有時剛鍍完取出沒有色斑放置2天后出現(xiàn)色斑，有時剛鍍完有色斑放置幾天后色斑減淡或消失。 出現(xiàn)色斑批次的光譜曲線和膜層牢固度都正常。 @EGUQ|WL^  
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已排除了基片本身污染，真空腔內污染，離子源和膜料問題。 )Ga 3Ji}'  
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請問導致膜層色斑的可能原因還有哪些？

沒有回應，自頂一下

是色斑還是色環(huán)，若是色環(huán)就應該是均勻性問題。希望幫到你

謝謝sgh920，是色斑不是色環(huán)，已確認過均勻性OK。此問題不定期出現(xiàn)，有時間隔1-2個月，在1-2爐上出現(xiàn)，就像幽靈一般。

應該是膜料成膜的致密性造成，現(xiàn)象和你說的一樣，完全沒規(guī)律。而其根本原因是設備，不知你是用的哪家南光。 rxJWU JMxK  

很是深奧啊

預熔充分  看看還有沒有  還有充氧的位置  氧氣的純度等等 都是一些細節(jié)方面 慢慢排查  

現(xiàn)在還出現(xiàn)嗎？如果沒有可聯(lián)系我 QQ2860598589