XUV光譜儀是新型的像差校正平場入射X射線光譜儀，光譜范圍可涵蓋1-80nm.模塊化設(shè)計，可以滿足不同的實驗條件和環(huán)境。 9m>L\&\_e  
單光柵（標準配置）可覆蓋5-80nm測量范圍 OI)k0t^;D  
技術(shù)參數(shù)