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    [求助]關(guān)于極值法控制膜厚 [復(fù)制鏈接]

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    離線矮子lr
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-09-05
    初學(xué)者,請(qǐng)教各位大俠一個(gè)問(wèn)題: ):kDWc  
        在鍍制非λ/4雙層增透膜時(shí),如采用極值法控制膜厚,在鍍第一層和第二層時(shí),是否要改變控制波長(zhǎng)?若是,這樣上批量時(shí),是否會(huì)因?yàn)榉磸?fù)調(diào)整光柵單色儀控制波長(zhǎng)而降低光柵單色儀精度呢?可否在鍍制非λ/4雙層增透膜時(shí)(用光控),不用改變控制波長(zhǎng)來(lái)控制膜厚呢?若可行的話,請(qǐng)問(wèn)該怎樣做呢?
     
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    離線dinghaiyi
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2006-09-11
    要改變控制波長(zhǎng)
    離線矮子lr
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2006-09-12
    謝謝dinghaiy給我的回答i,那會(huì)影響單色儀的精度嗎?
    離線lingwei104
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-07-31
    來(lái)學(xué)習(xí)