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[求助]關(guān)于極值法控制膜厚 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2006-09-05

初學(xué)者,請(qǐng)教各位大俠一個(gè)問題:
在鍍制非λ/4雙層增透膜時(shí),如采用極值法控制膜厚,在鍍第一層和第二層時(shí),是否要改變控制波長(zhǎng)?若是,這樣上批量時(shí),是否會(huì)因?yàn)榉磸?fù)調(diào)整光柵單色儀控制波長(zhǎng)而降低光柵單色儀精度呢?可否在鍍制非λ/4雙層增透膜時(shí)(用光控),不用改變控制波長(zhǎng)來控制膜厚呢?若可行的話,請(qǐng)問該怎樣做呢?