本文分析和研究了掠入射成像光學系統(tǒng)工程應(yīng)用時，環(huán)形入瞳的衍射、光學表面的散射、裝配公差和環(huán)境因素對成像質(zhì)量的影響。編寫了掠入射成像光學系統(tǒng)像質(zhì)分析軟件，該軟件能夠用來分析計算包含幾何像差、孔徑衍射、表面散射、公差及環(huán)境影響作用下的掠入射成像光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量。軟件的計算結(jié)果能夠用于指導(dǎo)掠入射成像光學系統(tǒng)進一步的優(yōu)化和制造，并對其工程應(yīng)用的可行性進行評估。最后，使用該軟件詳細分析了本文中設(shè)計的掠入射光學系統(tǒng) 的成像質(zhì)量，根據(jù)分析計算的結(jié)果制定了系統(tǒng)研制過程中的“誤差分配圖”和加工裝調(diào)公差。