本文分析和研究了掠入射成像光學系統(tǒng)工程應用時，環(huán)形入瞳的衍射、光學表面的散射、裝配公差和環(huán)境因素對成像質量的影響。編寫了掠入射成像光學系統(tǒng)像質分析軟件，該軟件能夠用來分析計算包含幾何像差、孔徑衍射、表面散射、公差及環(huán)境影響作用下的掠入射成像光學系統(tǒng)的成像質量。軟件的計算結果能夠用于指導掠入射成像光學系統(tǒng)進一步的優(yōu)化和制造，并對其工程應用的可行性進行評估。最后，使用該軟件詳細分析了本文中設計的掠入射光學系統(tǒng) 的成像質量，根據(jù)分析計算的結果制定了系統(tǒng)研制過程中的“誤差分配圖”和加工裝調(diào)公差。 }r)T75_1
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設計了用于掠入射成像光學系統(tǒng)筒狀非球面面形測量的共路掃描長程輪廓儀（CSLTP）的光學結構。該 CSLTP 中偏振分光棱鏡置于光學掃描頭的設計以及光束調(diào)制器的使用，降低了測量中誤差的影響，提高了測量精度。分析和研究了 CSLTP 中影響測量結果的主要誤差源。針對影響較大的兩種系統(tǒng)誤差，提出了采用反轉方法校正轉臺自身轉動誤差，采用濾波算法校正系統(tǒng)傾斜偏心誤差的方法。
