在PMMA基底上鍍AR膜系，905nm增透。 (m})V0/`  
基片經(jīng)超聲波中性洗劑清洗后，放在恒溫箱中75℃，退火2h；在光馳機器中不加熱，開離子源，真空抽至2E-3開始鍍（Ta2O5/石英環(huán)）。 ^qGH77#z  
出鍋后，基片上的膜層就出現(xiàn)明顯裂痕。 db4Ol=  
基片翻面放進機器，降低鍍石英環(huán)的離子轟擊能量，并在出鍋后，直接放入恒溫箱中75℃退火2h。結(jié)果是基片沒有裂痕，但膜層一擦就掉。 Bx;bc  
請教下各位，應(yīng)該怎樣有效的降低PMMA的內(nèi)應(yīng)力，工藝上有哪些不當(dāng)?shù)牡胤较Ｍ�可以不吝言辭予以指正，謝謝！

供參考：覺得基底要加熱，~50C.

這個沒什么復(fù)雜的 S2w|\"  

做個記號~

學(xué)習(xí)一下

coa520:這個沒什么復(fù)雜的 @s}I_@  
 (2015-04-28 11:34)  H$>D_WeJ  

%<6oKE  
求指教

我最近也在做這個，求大神指教

求教，學(xué)習(xí)

樓主，最終是什么問題，解決了嗎？

目前還沒解決  求大神指點 ?6+GE_VZ  
謝謝！ "(5A5>