工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍 ^=pn!lK;^  
幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍： w80g)4V+  
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa @4T+0&OI10  
  幾種常用真空泵的工作原理 9w}A7('  
l        旋片機(jī)械泵 ~${.sD\  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 &0K H00l  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 ss236&  
主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。 Uj0DX>I  
由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。 i~n>dc YW  
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旋片式機(jī)械泵 rQ;m|@  
l        油擴(kuò)散泵 )<1M'2  
工作過程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復(fù)循環(huán) lk%rE  
由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。 IM}#k$vM:  
擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，一般采用機(jī)械泵為前級(jí)泵，以滿足出口壓強(qiáng)(最大40Pa)，如果出口壓強(qiáng)高于規(guī)定值，抽氣作用就會(huì)停止。 Ue^upx  
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1. 水冷套； 2. 噴油嘴； 3. 導(dǎo)流管；4. 泵殼； 5. 加熱器 :a0qm.EN  
l        渦輪分子泵 U"