工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍 2[dIOb4b  
幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍： (3md:r<-  
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa k|O,1  
  幾種常用真空泵的工作原理 Q-zdJt  
l        旋片機(jī)械泵 >$F:*lO  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 +zRh fIJHH  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 V2yveNz\7  
主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。 ;o$;Z4:.D  
由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。 St>`p-  
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旋片式機(jī)械泵 >IR$e=5$  
l        油擴(kuò)散泵 
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工作過程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復(fù)循環(huán) Q @2(aR  
由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。 Y&,rTa  
擴(kuò)散泵不能單獨(dú)使用，一般采用機(jī)械泵為前級(jí)泵，以滿足出口壓強(qiáng)(最大40Pa)，如果出口壓強(qiáng)高于規(guī)定值，抽氣作用就會(huì)停止。 FD6
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1. 水冷套； 2. 噴油嘴； 3. 導(dǎo)流管；4. 泵殼； 5. 加熱器 lEfBe)7+  
l        渦輪分子泵 (G8  
工作過程是：高速旋轉(zhuǎn)葉片(30000轉(zhuǎn)/分)—對(duì)氣體分子施以定向動(dòng)量—壓縮—排氣。 +AK:
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優(yōu)點(diǎn)：無油，潔凈，啟動(dòng)快，制動(dòng)快，可忍受大氣沖擊。 :pd&dg!5  
缺點(diǎn)：由于高速旋轉(zhuǎn)，不能在磁場(chǎng)中使用，否則會(huì)產(chǎn)生渦流，導(dǎo)致葉輪發(fā)熱、變形等嚴(yán)重后果，對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體抽速較小， 價(jià)格昂貴。 k!doIM
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1. 動(dòng)葉輪；2. 泵殼；3. 渦輪排；4. 中頻電動(dòng)機(jī)；5. 底座； G\1J _al  
6. 出氣口法蘭；7. 潤滑油池；8. 靜葉輪；9. 電機(jī)冷卻水管.   TmiWjQv`  
真空鍍膜 ZPF7m
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n        真空濺射：當(dāng)高能粒子(電場(chǎng)加速的正離子)打在固體表面時(shí)，與表面的原子、分子交換能量，從而使這些原子、分子飛濺出來。 b%nkIPA  
n        真空蒸發(fā)：在真空中把制作薄膜的材料加熱蒸發(fā)，使其淀積在適當(dāng)?shù)谋砻嫔稀?span style="display:none"> S+FQa7k  
n        真空蒸發(fā)鍍膜簡(jiǎn)介 )C}K
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l        真空系統(tǒng)(DM—300鍍膜機(jī))