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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-09-08
      工作壓強范圍(Pn-Pm):泵能正常工作的壓強范圍 (elkk#  
    幾種常用真空泵的工作壓強范圍: 1ww~!R  
    旋片機械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa ' b,zE[Q  
      幾種常用真空泵的工作原理 |L)qH"Eo  
    l        旋片機械泵 !uKuO  
    工作過程是: 吸氣—壓縮—排氣。 H