從今天起，開始以應(yīng)用型案例為主，本例使用衍射光學(xué)工具箱來設(shè)計(jì)擴(kuò)散器實(shí)現(xiàn)線聚焦。通過規(guī)則型擴(kuò)散器的會(huì)話編輯設(shè)置窗口，設(shè)置光源，元件，評(píng)價(jià)函數(shù)等約束條件，選定一維。最后生成lpd及迭代傅里葉變換算法（IFTA）優(yōu)化窗口，運(yùn)行可得到DOE對應(yīng)的相位分布，由結(jié)構(gòu)生成可配置具體的介質(zhì)，從而生成實(shí)體的表面輪廓。并導(dǎo)出為GDSII掩膜文件。 SEM-t