公司介紹 !*U
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牛津儀器為客戶提供靈活，可配置的加工工具，以及針對精確，可控和可重復蝕刻，沉積，微米-納米結構生長的前沿工藝。 [~ Wiy3n  
　　牛津儀器的刻蝕、沉積和生長系統(tǒng)可以為材料的微米、納米級工程提供工藝方法，可以應用于半導體、光電子、MEMS和微流體、高質量光學涂層及其他多種微納技術領域。 Rj/9\F3H  
　　這些解決方案是基于如下核心技術：等離子體刻蝕和沉積;原子層沉積(ALD); 離子束蝕刻&沉積;深硅刻蝕系統(tǒng);磁控濺射 ${/"u3a_  
　　產品范圍包括單機研發(fā)系統(tǒng)、批處理設備直到具備大規(guī)模生產能力的片盒到片盒設備。 4/Vy@h"A3  
　　研討會主題：使用創(chuàng)新等離子加工技術蝕刻圖形藍寶石襯底(PSS) w84 ]s%y  
　　舉辦時間：2015年6月4日 下午15:00-16:00 A ko}v"d  
　　舉行公司：牛津儀器 T@GR