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    [求助]ZnS和Ag之間掉膜怎么解決 [復(fù)制鏈接]

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    離線348068034
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-08-17
    ZnS和Ag之間掉膜,試了幾爐,調(diào)節(jié)不同的離子源輔助參數(shù)。就是沒有加熱。都不能解決。這兩個(gè)材料必須得加熱嗎,我網(wǎng)上查了,說ZnS建議在高溫下鍍膜比較牢固,但是Ag建議低的基板溫度。求助各位大神有什么良策解決這個(gè)掉膜問題
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2015-08-19
    Ag膜如果加溫會(huì)發(fā)霧,反射率下降明顯,我鍍銀的溫度一般控制在50度以下,另外,AG與AL2O3結(jié)合較好,如果要加鍍其他介質(zhì)膜,一般在銀與其他膜之間加AL2O3會(huì)更牢 .nEs:yn  
    離線fly6947
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2015-08-29
    第一:原工藝    80°  zns 和ag  不用離子源也會(huì)牢 {I{3