郭培基，余景池，丁澤釗，孫俠菲（蘇州大學(xué) 現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)研究所，江蘇 蘇州 215006）摘自《光學(xué)技術(shù)》

摘要：高質(zhì)量的透射光學(xué)系統(tǒng)對光學(xué)材料的光學(xué)均勻性要求非常高，材料局部折射率10-6量級的變化就可能破壞整個(gè)系統(tǒng)的性能。詳細(xì)介紹了三種用于測量光學(xué)玻璃光學(xué)均勻性的干涉法，研制了一臺(tái)高精度光學(xué)玻璃材料光學(xué)均勻性測量儀。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：40mm左右厚的光學(xué)玻璃材料的光學(xué)均勻性檢測精度可達(dá)1×10-6。 )>X C_ R  
    關(guān)鍵詞：環(huán)行浮動(dòng)拋光技術(shù)；工藝實(shí)驗(yàn)；透射波前；反射波前 l2lyi  
    中圖分類號(hào)：TH706 u}:p@j}Zv  
文獻(xiàn)標(biāo)識(shí):A ^jiYcg@_[  
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    High accuracy testing method of the homogeneity of optical glass R3`h$`G  
    GUO Pei-ji, YU Jing-chi, DING Zhe-zao, SHUN Xia-fei l)^sE)  
   （Institute of Modern Optical Technology, Soochow University, Suzhou 215006, China） `YinhO:Z  
    Abstract：In high quality refractive optical system the homogeneity of optical components is rather high. Local changes in the refractive index of the order of 10-6 will detect the adequate performance of the whole system. In this paper, we describe three optical interference methods to measure the homogeneity of optical glass, a high accuracy apparatus for testing the homogeneity of optical glass is developed, and the test result shows the measurement error is less than 1×10-6. |8:IH@K*  
    Key word：homogeneity of optical glass; testing; high accuracy

    1 引 言 sPod)w?e  
    光學(xué)玻璃比普通工業(yè)玻璃的質(zhì)量要求高。光學(xué)玻璃的質(zhì)量檢驗(yàn)包括光學(xué)性能和光學(xué)質(zhì)量的檢驗(yàn)和測試。光學(xué)性能包括折射率和色散等光學(xué)常數(shù)。光學(xué)玻璃質(zhì)量是指熔制和退火過程中的各種缺陷的大小，包括光學(xué)玻璃的光學(xué)均勻性、應(yīng)力雙折射、條紋、氣泡和由雜質(zhì)引起的光吸收等。光學(xué)玻璃的光學(xué)均勻性是指同一塊光學(xué)玻璃內(nèi)部的折射率的不一致性，常用其內(nèi)部的折射率的最大差值表示。光學(xué)玻璃的光學(xué)均勻性是非常重要的玻璃質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)樗�直接影響透射光學(xué)系統(tǒng)的波面質(zhì)量，改變系統(tǒng)的波像差。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)和國防事業(yè)的發(fā)展，對一些透射光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量要求越來越高，迫切需要有高精度的光學(xué)玻璃光學(xué)均勻性的檢測手段，而現(xiàn)在國內(nèi)的光學(xué)材料生產(chǎn)廠家都沒有合適的手段來檢測這種高要求的玻璃材料。光學(xué)玻璃的光學(xué)均勻性檢測有定性和定量兩類方法，高精度的檢測方法主要是定量檢測波像差的干涉儀。

    2 三種干涉測量法 u#c3T'E  
    2.1 直接測量法[ 1，2，3] Oz:J8l%  
如圖1所示，把被檢測的樣品玻璃置于斐索干涉儀的參考平面和一標(biāo)準(zhǔn)平面中間，從標(biāo)準(zhǔn)平面反射的光與參考平面反射的光相干涉。如果樣品的表面面形是理想的，檢測得到的波面質(zhì)量就反映了樣品玻璃的光學(xué)不均勻性。 \j$q';9p  
如令樣品的光學(xué)不均勻性為△n，檢測得到的波相差為ω(x，y)，樣品厚度為t，則 J_H=GHMp}  
△n=ω(x，y)/(2t) （1） '.