雙頻激光干涉儀是當代國際機床標準中規(guī)定使用的數(shù)控機床精度檢測驗收的測量設備，本文就如何應用雙頻激光干涉儀檢驗數(shù)控也庫的定位精度進行了討論。 =v;@w$#  
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1．測量隱理 l0)6[yXK  
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  由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號，其余光束經(jīng)回轉光學系統(tǒng)放大和準直，被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機床運動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移，兩束光發(fā)生多普勒效應，產生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號（f1-f2±Δf）和參考訊號（f1-f2）被送到測量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進行處理，得到所測量的位移量，即可評定數(shù)控機床的定位精度。 I#%-A  
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2．測量方法 VNfx>&`  
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