ly-(F2
比如sio2 材料 n一般是1.45 9H/>M4RT
然后3個光學厚度的話是 180nm 現(xiàn)在電腦里面模擬下3個光學厚度下的波形,然后鍍180nm厚度的sio2 這個是電腦輸入的值 W|7|XO
然后測試結(jié)果 4%^z=%
sio2 測試反射比較明顯,測試出來的曲線可以用來做2件事 \ dFE.4
1.通過測試波形 用其他軟件 可計算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值,如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個點的n值 算過好多機器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 Td'Mc-/
2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟 測試結(jié)果的特征峰 相除可得到tooling值,這個也是粗略的值 但是用下來還是比較方便簡單的 4kjfYf@A
可多次重復 得到一個比較可靠的值 jZ|M$I3*
其實鍍膜上有好多參數(shù)可做tooling值 鍍膜時間 鍍膜面積 等,本人還是喜歡測試波形與模擬的波形的比值來表示。 uhh7Ft#H
)A$"COM4
當然也可用tfc macleod來計算折射率,都是比較簡單的,但是算法不一樣,計算結(jié)果還是有點偏差的,macleod的會比較好點,會自動修正測試結(jié)果。