3.Jk-:u %m  
比如sio2 材料  n一般是1.45 ]'0}fuV  
然后3個(gè)光學(xué)厚度的話是 180nm  現(xiàn)在電腦里面模擬下3個(gè)光學(xué)厚度下的波形，然后鍍180nm厚度的sio2  這個(gè)是電腦輸入的值 w%%*3[--X  
然后測(cè)試結(jié)果 z#d*Odc  
sio2 測(cè)試反射比較明顯，測(cè)試出來(lái)的曲線可以用來(lái)做2件事 id>2G %Tx  
1.通過(guò)測(cè)試波形 用其他軟件 可計(jì)算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值，如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個(gè)點(diǎn)的n值  算過(guò)好多機(jī)器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺(jué)都差不多 影響不大。 2xv[cpVi  
2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟  測(cè)試結(jié)果的特征峰  相除可得到tooling值，這個(gè)也是粗略的值 但是用下來(lái)還是比較方便簡(jiǎn)單的 $/Llzpvny  
可多次重復(fù) 得到一個(gè)比較可靠的值 n_6
#Df*  
其實(shí)鍍膜上有好多參數(shù)可做tooling值 鍍膜時(shí)間 鍍膜面積 等，本人還是喜歡測(cè)試波形與模擬的波形的比值來(lái)表示。 -E.fo._L5  
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