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案例386（1.0） @bIZ0tr4 Gp0yRT. 關(guān)鍵詞： 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑，畸變補(bǔ)償，幾何畸變，枕形，桶形，強(qiáng)度衰減，功率、陡降、損耗、預(yù)備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 ;;
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EkpM'j= 1. 摘要 PiJ >gD x
9j>LU<Z 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計。 2 4I\smO 通過來分束器可以生成一個5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 H rg -5_ 然而，由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個形變。 ~m3Tq.sYrY 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 T9?8@p\}( H;N6X y*~ 2. 設(shè)計任務(wù)：規(guī)則的5×5光束分束器 SnV b D<
4Z0Y8y8) @MxB
d,P 設(shè)計衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 ,zO v-pH 最大衍射角(水平/豎直)：α=β=22.3° }qg.Go 最大衍射角(對角線)=30.1° FO:k
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c7@[RG ! 3. 設(shè)計任務(wù) dO!B=/
~COd(,ul 光源參數(shù)： ]--"
K{ — 高斯光源波長：532nm -5y=K 4 0 — 光束直徑(1/e2)：80um y4%[^g~- 系統(tǒng)參數(shù)： WesEZ\V — 衍射元件到屏幕距離：z=0.3m G O[u 期望輸出場： /Jc54d — 期望點(diǎn)圖形：規(guī)則圖形，5×5的點(diǎn)陣 #{g6'9PMz — 級次間距：49.2mm IoCi(N; — 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 c JOT{ “Sc386_TargetPattern_1.ca2” %I#[k4 ,N DOE參數(shù)： X< 4f7;]O — 僅改變位相的衍射光學(xué)元件 }8dS[-. — 離散DOE的位相階數(shù)：4 rLE5fl5W [orS-H7^ 4. 點(diǎn)圖形的變形 JgMYy,q8t
cd.|> 衍射元件通常是在等間距的計算網(wǎng)格上利用角譜域的迭代傅里葉變換算法完成設(shè)計。 *n_7~ZX 對于非近軸衍射元件，衍射角和光軸上點(diǎn)的橫向距離之間沒有線性關(guān)系。 &+"
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