VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 ~<w9a]  
很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有： '}T6e1#JV  
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 干涉儀 +BE_K_56  
 光譜儀&單色儀 [vY? !  
 表面計(jì)量系統(tǒng) Yet!qmZ  
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VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場追跡引擎進(jìn)行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 6s|4'!  
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圖片:1-160Q31G515U8.png

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VirtualLab Fusion軟件的特性： &GH,is  
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