近年來高功率高光束質(zhì)量的激光器 在各行材料加工行業(yè)的應(yīng)用得到迅猛發(fā)展，激光器種類繁多：不同結(jié)構(gòu)分為氣體激光、固體激光、光纖激光、半導(dǎo)體激光成為支撐材料加工行業(yè)的主流；其波長范圍從遠(yuǎn)紅外到深紫外均能覆蓋到（200nm~20um），不同的行業(yè)亦會使用到不同的功率范圍，不同的光束質(zhì)量，不同的激光輸出方式等等。在加工薄膜非金屬材料，半導(dǎo)體晶圓切割，有機玻璃切割、鉆孔、打標(biāo)等領(lǐng)域為了減少熱效應(yīng)影響，希望小孔徑光斑作用及高峰值功率，紫外激光的作用和地位就是那么的出色和不可替代。 d |17G  
　　對于金屬加工的波長多為紅外波段，以期望高功率高熱量來作用加工金屬，但其紅外或可見光通常靠產(chǎn)生高亮度的局部加熱使材料氣化、熔化的方式來進(jìn)行加工。但這種熱量會導(dǎo)致激光作用區(qū)域的周邊材料受到影響甚至被破壞，因而限制了加工邊緣質(zhì)量和工業(yè)應(yīng)用范圍。而紫外激光是短波長高能量光子激光，其作用到物質(zhì)上是直接破壞材料原子組分的化學(xué)鍵，而不產(chǎn)生熱量，所以一般都把紫外激光加工稱作“冷”加工。 8Qv