光柵式
傳感器指采用光柵疊柵條紋
原理測量位移的傳感器。光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫構(gòu)成的
光學(xué)器件。
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c'z 一般常用的光柵是在
玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕為不透光部分，兩刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一狹縫。精制的光柵，在1cm寬度內(nèi)刻有幾千條乃至上萬條刻痕。
/~LXY< -( ,ZYj8^gF 'ZHu=UT7_ 這種利用透射光
衍射的光柵稱為透射光柵，還有利用兩刻痕間的反射光衍射的光柵，如在鍍有金屬層的表面上刻出許多平行刻痕，兩刻痕間的光滑金屬面可以反射光，這種光柵成為反射光柵。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng)，因而能提高測量
精度。
?]=fC{Rh a#0G mK r $du-U 光柵傳感器由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路
系統(tǒng)和測量系統(tǒng)四部分組成。標(biāo)尺光柵相對于指示光柵移動時，便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。
