非晶硅薄膜太陽能電池主要采用摻氟氧化錫(FTO)導(dǎo)電玻璃作為基板,但FTO薄膜霧度較低、表面形貌無法優(yōu)化,導(dǎo)致無法得到較優(yōu)的陷光結(jié)構(gòu),從而限制了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。為了進(jìn)一步提升太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率,探討了替代型的摻鋁氧化鋅(AZO)薄膜,通過優(yōu)化前段磁控濺射鍍膜工藝和后段濕化學(xué)蝕刻工藝,用以平衡AZO薄膜的光電性能和霧度,從而獲得具有理想表面形貌的AZO導(dǎo)電玻璃,使其成為理想的非晶硅薄膜太陽能電池的基板材料。實(shí)驗(yàn)表明,經(jīng)工藝優(yōu)化后制作的AZO導(dǎo)電玻璃可提升光電轉(zhuǎn)換效率。