高純氣體中水汽含量是半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中的一個(gè)重要參數(shù)，氣體中殘余水汽含量即使是ppbv (體積的十億分之一）量級(jí)也會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生影響。氣體在中紅外區(qū)域具有更豐富的特征譜線(xiàn)，在該區(qū)域?qū)λ�汽含量進(jìn)行檢測(cè)十分必要。寬調(diào)諧范圍、高輸出功率和窄線(xiàn)寬量子級(jí)聯(lián)激光器的快速發(fā)展，推動(dòng)了該區(qū)域紅外光譜檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展。 Odw9]`,T  
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　　中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所團(tuán)隊(duì)首次在中紅外波段采用5.2 um可調(diào)諧量子級(jí)聯(lián)激光器，基于連續(xù)光腔衰蕩光譜技術(shù)建立了痕量水汽的檢測(cè)裝置，并開(kāi)展了痕量水汽檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。通過(guò)阿倫方差分析系統(tǒng)噪聲水平，確定了光腔衰蕩信號(hào)最優(yōu)平均次數(shù)為602次。在常壓和室溫下，對(duì)1918cm-1附近的水汽吸收光譜進(jìn)行測(cè)量，測(cè)定高純氮?dú)庵械暮哿克�汽濃度，檢測(cè)結(jié)果與標(biāo)稱(chēng)值一致。對(duì)檢測(cè)靈敏度進(jìn)行分析，在腔鏡反射率為99.93%時(shí)水汽的檢測(cè)靈敏度達(dá)到24.8ppbv。分析結(jié)果表明，中紅外高靈敏痕量氣體檢測(cè)技術(shù)在工業(yè)監(jiān)測(cè)、環(huán)境檢測(cè)以及醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。