一臺(tái)新的鍍膜機(jī)，在不知道折射率，沒(méi)有補(bǔ)正板，不知道均勻性等的情況下，應(yīng)該如何進(jìn)行調(diào)試�。坎襟E我知道，但是就是不知道具體該如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三鈦為例，在沒(méi)有具體的折射率情況下，用多大的折射率去做單層，單層的厚度設(shè)計(jì)多少，做出來(lái)后怎樣進(jìn)行修正計(jì)算實(shí)際的折射率，具體的教程誰(shuí)有��？另外知道折射率了，在做均勻性時(shí)，修正板要如何修剪？ ~RSOUrR  
求指點(diǎn)。 R:+2}kS5e{  

補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:356 補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:356 uWw4l"RK`  
先看一下附件，新柯隆的補(bǔ)正板做成資料。 +5pK[%k  
寫(xiě)的比較詳細(xì)了。

另外，要做單層時(shí)，先確認(rèn)一下你的分光儀測(cè)量范圍和手頭的光學(xué)軟件是否可以用，里面有多少材料庫(kù)，不夠的話去查一下自己做材料。（推薦麥克勞德，當(dāng)然TFC也可以） H!U\;ny  
一般單層厚度在測(cè)量范圍內(nèi)3～5個(gè)PEAK（用光學(xué)軟件模擬一下就可以知道）。
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SiO2一般折射率變化不會(huì)太大，所以直接用光學(xué)軟件的折射率也可以。 Hl"rGA>  
（還有就是有些分光儀分辨率不高，做出來(lái)的SiO2曲線毛刺很多，反倒不如軟件里的折射率準(zhǔn)確） l,}{Y4\G  
做的話多用幾個(gè)坩堝，一個(gè)坩堝做很厚的膜層不好（打坑深了分布變了修正板就不準(zhǔn)了）

1.設(shè)定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個(gè)可以參考或詢(xún)問(wèn)； j:D@X=|  
65bLkR{0  
2.鍍單層膜  基板選擇圓平片，一班鍍3-5個(gè)極值； !xoN%5!  
Q g=k@  
3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行；高低材料均勻性交替修 kYBTmz}z  
'Im7^!-d  
4.修好均勻性后根據(jù)折射率計(jì)算tooling； $Gb] K{e  
Tj@}O:q7:  
5.驗(yàn)證膜層的光學(xué)及非光學(xué)性能；有異常者重新修改參數(shù)并重復(fù)2-4過(guò)程

fly6947:1.設(shè)定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個(gè)可以參考或詢(xún)問(wèn)；
2.鍍單層膜  基板選擇圓平片，一班鍍3-5個(gè)極值；
3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行；高低材料均勻性交替修 (V@g?|LZ  
....... (2017-09-13 11:28)  x|*v(,7b]!  

STu!v5XY}-  
謝謝。不過(guò)說(shuō)的流程我大概知道，就是不會(huì)具體的操作，比如我設(shè)計(jì)了單層，也鍍了；出來(lái)特性也測(cè)了，如何計(jì)算折射率？

折射率和吸收兩個(gè)要一起用軟件算的。  Z_F:H@-&  
你先說(shuō)說(shuō)手頭有什么軟件？ ,eOOV@3C  
每種軟件的使用方法不一樣。 /A\'_
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如果你只要結(jié)果的話，直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來(lái)，有空幫你算。 0trVmWQ8  
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