摘要：微納光學(xué)結(jié)構(gòu)技術(shù)是指通過在材料中引入微納光學(xué)結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)新型光學(xué)功能器件。其中表面等離子體光學(xué)、人工負折射率材料、隱身結(jié)構(gòu)，都是通過引入微納結(jié)構(gòu)控制光的衍射和傳播，從而實現(xiàn)新的光學(xué)性能。從這個角度來講，微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計和制造是微納光學(xué)發(fā)展的共性關(guān)鍵技術(shù)問題，微納光學(xué)是新型光電子產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。 g&L!1<, p  
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關(guān)鍵字：微納光學(xué) ；納米制造；微納光學(xué)產(chǎn)業(yè)； r `=I  
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Abstract： Micro-nano optical structure technology refers to through the introduction of micro-nano optical structure in the material, implement new optical functional devices. The surface plasmon optics, artificial negative refractive index materials, stealth structure, through the introduction of micro-nano structure control of light diffraction and transmission, so as to realize the new optical performance. From this perspective, micro-nano optical structure design and manufacture is the universal key technical problems in the development of micro-nano optics, micro-nano optics is a new important development direction of optoelectronic industry. E_rI?t^  
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Key words  :  micro-nano optics; nanofabrication; micro-nano optical industry q1x`Bj  
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1.微納光學(xué)技術(shù)的多種應(yīng)用 7sCG^&Y  
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1）加工新型光柵 LBeF&sb6  
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借助于大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)，可以加工出新型的光柵。光柵是個實用性很強的基本光學(xué)器件，在23ARTICLE | 論文激光與光電子學(xué)進展2009.10光譜儀、光通信波分復(fù)用器件、激光聚變工程、光譜分析等領(lǐng)域中大量使用。傳統(tǒng)的表面光柵不論是機械刻畫光柵，還是全息光柵，其表面的光柵結(jié)構(gòu)是很薄的。明膠或光折變體全息光柵的光柵厚度較厚，由于制造工藝的一致性、溫度穩(wěn)定性和長期穩(wěn)定性問題，在實際應(yīng)用時仍然有限制。 [>I<#_
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2）制作深刻蝕亞波長光柵 >Er|Jxy  
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采用激光全息、光刻工藝和半導(dǎo)體干法刻蝕工藝可以加工出深刻蝕亞波長光柵。其簡化的基本工藝流程如圖 1 所示。首先，采用激光全息產(chǎn)生高密度光柵的光場；其次，通過光刻工藝，在光刻膠上做出光柵掩模；最后，通過反應(yīng)離子或高密度等離子體等半導(dǎo)體干法刻蝕技術(shù)，加工出深刻蝕的表面光柵。 z_$%