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[討論]膜厚儀tooling問題 [復(fù)制鏈接]

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離線cugzqq

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-10-17

關(guān)鍵詞：膜厚儀

請(qǐng)問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會(huì)變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-10-17

TOOLING是個(gè)比例。
因?yàn)槲恢�，角度，遮擋的不同�?span style="display:none"> < EXWWrm
膜厚儀上得到的膜厚和實(shí)際鍍?cè)谄由系哪ず袷遣灰粯拥摹?

離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2018-10-17

定義上，膜厚儀中材料 Tooling = 樣品上層厚度/晶振片上層厚度
如ouyuu說，就是個(gè)比例系數(shù)。
有了這個(gè)參數(shù)，鍍膜時(shí)，膜厚儀上的顯示厚度就等同于是樣品上的厚度。

離線morningtech

助理工程師

發(fā)帖: 256

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2018-10-17

改變了tooling參數(shù)，那么晶控儀為達(dá)到同樣的樣品厚度（設(shè)計(jì)厚度），監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實(shí) 比例未變，那樣品上的厚度也必將變化。